階梯式非接觸晶圓厚度測(cè)量設(shè)備

針對(duì)晶圓廠陶瓷盤上晶圓及鐵框膜上樣品

設(shè)備使用的為特殊設(shè)計(jì)加工的預(yù)壓式氣浮軸承。氣浮軸承是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承，由于工作在平面度極佳的花崗巖表面，因此本 身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性，特別適用于高精度檢測(cè)以及超精加工領(lǐng)域。 我司使用的為特殊設(shè)計(jì)加工的預(yù)壓式氣浮軸承，具有高剛性、高平面度、免維護(hù)、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，可 確保設(shè)備24小時(shí)連續(xù)工作無異常，最長(zhǎng)設(shè)備使用壽命達(dá)到10年。

技術(shù)特點(diǎn)

?  階梯式測(cè)量,還原接觸測(cè)量真實(shí)結(jié)果；
?  直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；
?  兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量；
?  氣浮龍門平臺(tái)確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性；
?  兼容最大360mm陶瓷盤(5-7pcs樣品)；
?  晶圓的測(cè)量厚度范圍為5um-1mm；
?  抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架；
?  含視覺自動(dòng)定位系統(tǒng)；
?  可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式；
?  直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式；
?  樣品盤頂出機(jī)構(gòu)，兼容機(jī)器人上下料動(dòng)作。

測(cè)量參數(shù)：

選型要求：

1、可根據(jù)客戶要求定制不同的治具，兼容不同形狀及尺寸的晶圓或其它產(chǎn)品。 可選配自適應(yīng)工裝，自動(dòng)調(diào)整尺寸滿足連續(xù)生產(chǎn)要求。

 2、設(shè)備適用于潔凈度高于1000級(jí)或以上無塵室，設(shè)備使用最佳環(huán)境溫度：20-25±0.3攝氏度（1小時(shí)連 續(xù)變化溫度不超過1攝氏度），如客戶使用環(huán)境無法達(dá)到使用要求，可選配完整機(jī)罩或局部恒溫系統(tǒng)。 

3、設(shè)備使用中需要提供穩(wěn)定氣源，氣源要求如下：