壓電平臺-旋轉
技術特點:
最大負荷∶1kg
最大角度∶10°
軌跡∶從50x50m㎡開始
環(huán)境和真空納米定位器
用于大氣和真空條件的壓電納米驅動器
納米定位器包含壓電電機,以實現納米級精度的運動,并且可根據客戶的應用提供各種不同的主體材料、尺寸和選項。
對于我們基于軸承的 EC* 系列定位器,重量輕且強度高的鋁材用于大氣應用,而不銹鋼外殼可與高達 UHV 的真空條件兼容。AN* 系列適用于特殊要求,例如有限空間或非磁性要求,因此由鈦或鈹銅制成。
產品查找器通過根據對您重要的規(guī)格對整個產品組合進行分類,消除了為您的設置查找納米定位器的麻煩。
煩。
高負載
借助其獨特的壓電驅動技術、剛性機械設計以及交叉滾子軸承的應用,環(huán)境和真空納米定位器能夠在納米尺度上移動和放置高達數公斤的負載。
閉環(huán)控制
結合三軸驅動電子設備 AMC100,環(huán)境和真空納米定位器能夠實現 1 nm (1 μ°) 的閉環(huán)定位分辨率,同時提供高達 4.5 mm/s (10°/s) 的行進速度。50 nm (50 μ°) 的位置可重復性超出了這些納米定位器的規(guī)格。
真空兼容性
環(huán)境和真空納米定位器專用于在室溫和從超高真空到環(huán)境的壓力范圍內運行。所有平臺均采用陽極氧化鋁或不銹鋼制成,可滿足光學和 UHV 應用。
材料和預期壽命
對于環(huán)境和真空納米定位器,特別強調使用壽命和成本效益制造。室溫優(yōu)化的驅動機構,結合鋁或不銹鋼作為主體材料的選擇,可顯著降低成本,同時實現約 500,000 次循環(huán)的使用壽命。
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