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龍門式自動(dòng)三軸平臺(tái)

發(fā)布日期：2021-12-21 　瀏覽次數(shù)：894

技術(shù)特點(diǎn)：

最小兼容的壓力5* 10?11mbr

最大負(fù)重24kg

最小編碼器分辨率1nm

最大量程150mm

因其在工業(yè)研究領(lǐng)域的納米技術(shù)尖端解決方案的開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽(yù)國(guó)際。其產(chǎn)品組合包括，超精密驅(qū)動(dòng)單元，干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器，其工作接近技術(shù)和物理的極限。

其室溫和低溫納米精度移動(dòng)平臺(tái), 專為納米定位而設(shè)計(jì)，在極端環(huán)境條件下（如低溫，高磁場(chǎng)和超高真空）具有最高精度。適用于大氣和真空條件，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇，如使用重量輕的強(qiáng)鋁用于大氣層，而不銹鋼外殼兼容高達(dá)真空條件。

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