影像測量復(fù)合機儀
影像檢測設(shè)備可搭載光譜共焦位移傳感器、線激光/光譜傳感器等多種傳感器,實現(xiàn)Z向尺寸高精度測量,2D/3D輪廓掃描,輪廓比對分析等功能。
● 高精度:
最高測量精度可達1.5+L/200μm
● 高速度:
直線電機驅(qū)動,移動速度最高可達600mm/s,加速度最高可達3000mm/s2
● 測量功能豐富:
具備全面的幾何量尺寸,形位公差測量,三維形貌分析功能
● 移動龍門式結(jié)構(gòu):
測量平臺不運動,傳感器三軸運動,保證高速測量時的精度
● 測量穩(wěn)定:
具備自動對焦、自動定位及自動測量功能,測量結(jié)果穩(wěn)定可靠
● 使用簡便:
測量測序編寫改動簡單快捷,軟件操作易學(xué)易用?
技術(shù)參數(shù)
一些測試數(shù)據(jù)
鈣鈦礦形成的原位監(jiān)測旋涂結(jié)果...
MORE+LayTec公司的InspiRe測量系統(tǒng),用于通過光譜反射測量原位監(jiān)測···...
MORE+PearlL是一個光學(xué)在線監(jiān)測系統(tǒng),能夠測量太陽能電池制造過程中各層的···...
MORE+LayTec公司開發(fā)了一套在線監(jiān)測系統(tǒng),能夠測量整個太陽能電池制造過程···...
MORE+