隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，掃描電子顯微鏡已經(jīng)成為材料科學(xué)、生命科學(xué)和各生產(chǎn)部門控制質(zhì)量環(huán)節(jié)中不可缺少的工具之一。

掃描電子顯微鏡是介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段，主要用于各種材料的微觀分析和成分分析。

掃描電子顯微鏡主要利用聚焦很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像，以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。作為顯微鏡家族中的后起之秀，掃描電子顯微鏡本身具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，發(fā)展速度非常快。掃描電子顯微鏡的分辨率較高，通過二次電子象能夠觀察試樣表面6納米左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6（六硼化鑭）電子槍，可以進(jìn)一步提高到3納米；掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)變化范圍，且連續(xù)可調(diào)，因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。除此之外，掃描電子顯微鏡還具有觀察樣品的景深大、視場大，圖像富有立體感，樣品制備簡單，可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量以及可進(jìn)行綜合分析等特點(diǎn)。

掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)對于改進(jìn)合成條件，制備出具有優(yōu)異性能的納米材料有很重要的指導(dǎo)意義。掃描電子顯微鏡可直接觀察納米材料的結(jié)構(gòu)、顆粒、尺寸、分布、均勻度及團(tuán)聚情況，結(jié)合能譜還能對納米材料的微區(qū)成分進(jìn)行分析，確定納米材料的組成。因?yàn)榧{米材料的性質(zhì)與其組成和表面形貌有很大關(guān)系，利用掃描電子顯微鏡分析納米材料，可建立起納米材料種類、微觀形貌與宏觀性質(zhì)之間的聯(lián)系。而且掃描電子顯微鏡因其自身優(yōu)勢也在物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、考古學(xué)、地礦學(xué)、食品科學(xué)、微電子工業(yè)以及刑事偵查等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。我們相信，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，掃描電子顯微鏡也會不斷發(fā)展，進(jìn)一步擴(kuò)展自身的應(yīng)用范圍。

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