直線電機(jī)平臺(tái) | LINEAR MOTOR STAGE 

非接觸式直驅(qū)電機(jī)，超高精度且擁有非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能 。無(wú)鐵芯電機(jī)，速度波動(dòng)低于千分之一（結(jié)合指定類(lèi)型驅(qū)動(dòng)器，實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)試數(shù)據(jù)）。 靜音防蠕動(dòng)導(dǎo)軌，可確保微小步距控制 。使用壽命超長(zhǎng)，長(zhǎng)時(shí)間免維護(hù)使用。

MMS50-X20系列采用了特殊定制的音圈電機(jī)，結(jié)合高分辨率光柵和精密交叉滾柱導(dǎo)軌，在迷你的體積小同樣具備UMS系列一樣的高精度以及高動(dòng)態(tài)。特別適合一些對(duì)體積非常敏感的應(yīng)用場(chǎng)景。

外形尺寸

LMT-MINIXY系列具有極為緊湊的外形尺寸及優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能，特別適合一些對(duì)空間尺寸敏感， 同時(shí)又希望有較大行程及較高精度的應(yīng)用場(chǎng)景。

外形尺寸

LMS250GT-X直線電機(jī)平臺(tái)采用優(yōu)質(zhì)花崗巖作為底座，配合高剛性直線滾柱導(dǎo)軌及有鐵芯直線電機(jī)，擁有非常出色的平面度直線度及負(fù)載能力，一般作為大型移動(dòng)定位設(shè)備的基礎(chǔ)模組。

外形尺寸

LMS180SCT-X系列直線電機(jī)平臺(tái)經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，厚度僅為55mm，輕薄的設(shè)計(jì)特別適用于高速輕載的應(yīng)用，高達(dá)5G最大加速度使得LMS180SCT-X系列擁有非常理想的動(dòng)態(tài)特性。

外形尺寸

LMS165FC-X系列屬于適用范圍最廣的直線電機(jī)平臺(tái)，全封閉一體式機(jī)構(gòu)，結(jié)合最新的自潤(rùn)滑導(dǎo)軌技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)在長(zhǎng)達(dá)5年以上的免維護(hù)連續(xù)使用。該系列全系列采用無(wú)鐵芯電機(jī)驅(qū)動(dòng)，擁有十分優(yōu)異的速度及動(dòng)態(tài)性能，該產(chǎn)品同時(shí)也以其出色的精度及非線性誤差而聞名。 

外形尺寸

UMS130-X系列采用了高精度帶防蠕動(dòng)功能的交叉滾柱導(dǎo)軌，配合直線電機(jī)及高分辨光柵尺，具有體積小、負(fù)載大、噪音低等優(yōu)點(diǎn)。防蠕動(dòng)的交叉滾柱導(dǎo)軌特別適合需要微步距行走的應(yīng)用，配合高性能的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定走出10nm的步長(zhǎng)，這是普通直線導(dǎo)軌直線電機(jī)平臺(tái)較難保證的 重要性能。因此UMS130-X系列特別適合用在高精度定位、檢測(cè)、曝光以及微加工的應(yīng)用場(chǎng)景。

外形尺寸

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